ued直播:

  当前，人工智能（AI）正加速向人形机器人、智能汽车、增强现实（AR）/虚拟现实（VR）等应用场景拓展，对传感、交互和控制能力提出了更加高的要求。微机电系统（MEMS）作为现代智能传感器产业的重要基础技术，正成为推动智能终端创新发展的关键支撑。

  在此背景下，2026年10月21日至23日，第七届中国MEMS制造大会暨微纳制造与传感器展将在苏州国际博览中心隆重举行。大会将汇聚全球MEMS制造产业链资源，以AI（AI）赋能MEMS产业为导向，围绕人机一体化智能系统、先进器件与感知、AI基础设施和智能协同等方向，全面展示产业前沿技术成果，深入探讨MEMS产业高质量发展热点与投资机遇。

  大会由中国唯一的MEMS行业权威组织——中国半导体行业协会MEMS（微机电系统）分会指导，苏州纳米城等产业协同单位联合主办。作为国内MEMS制造领域最具影响力的行业盛会之一，中国MEMS制造大会自2019年起已连续成功举办六届，见证并推动了中国MEMS产业的快速发展。2026年大会将议题设置、活动形式、国际合作与应用场景等方面进一步升级，持续为行业嘉宾打造MEMS产业交流合作的重要平台。

  本届中国MEMS制造大会将邀请来自全球MEMS产业链的领军企业、高校院所及投资机构代表发表主题演讲，深度解析MEMS市场发展机遇、先进设计、核心材料、关键设备、精密制造以及系统集成等环节，共同分享产业创新成果与实践经验。

  主会场板块聚焦全球MEMS产业高质量发展趋势，围绕AI驱动下的传感器产业变革、多模态感知与边缘智能融合，以及半导体市场投资、产业协同等热点方向展开交流

  Foundry板块围绕国内外MEMS代工先进工艺与新工艺路线发展趋势、特色工艺平台建设、中试平台能力提升，以及关键设备、材料国产化等方向展开讨论，关注MEMS制造体系的持续完善与量产能力升级。

  先进MEMS器件与感知板块将聚焦惯性、红外、气体、射频等领域，分享先进MEMS器件与创新应用，并围绕PZT等新型压电材料在高性能MEMS器件中的应用展开交流。

  AI基础设施板块将聚焦MEMS技术在数据中心、光通信、光电集成及先进热管理等领域的应用进展，围绕薄膜铌酸锂、光互连、主动散热等方向，分享产业化成果与技术应用案例。

  智能协同板块将围绕AI时代下，MEMS的协同设计、EDA仿真、关键设备、异质集成及系统可靠性等方向展开交流，促进设计、制造与系统应用的协同创新。

  大会将表彰2025年中国MEMS产业高质量发展过程中表现突出的代表性企业，以行业龙头为引领，进一步激发MEMS产业创新活力与协同发展动力，推动中国MEMS产业整体竞争力持续提升。

  2026年中国MEMS制造大会拟将首次启动“年度新锐MEMS产品”评选活动，面向MEMS产业链企业征集具有技术创新性、市场成长性与行业影响力的代表产品。将邀请头部投资机构、产业链明星企业和知识产权机构共同参与评审与投票，着重关注服务于AI、机器人、汽车电子、AR/VR等新兴应用领域具备突破潜力的MEMS创新产品，进一步挖掘行业新技术、新方向与新机会。

  MEMS晶圆制造验证-初试-中试-量产、MEMS封装测试、MEMS特殊工艺、失效分析、产线设备等。MEMS加工装备、纳米压印技术、微制程技术、分析检测、MEMS器件、MEMS器件及应用，MEMS融合接合技术，下一代光刻技术。

  接近式/直接式光刻设备、PVD/CVD/ALD沉积成膜设备、氧化/扩散炉、干/湿法刻蚀设备、共晶/临时/引线键合设备、清洗/酸洗/烘干/甩干设备、切/磨/划设备、探针台、检测设备、高低温/老化测试设备。

  G 线、I 线、KrF、ArF（干法/浸没）、EUV等光刻胶，正/负性胶，纳米压印、剥离、特种光刻胶；掩膜版、抗反射涂层、涂胶/显影配套；树脂、 聚合物、单体、有机溶剂、高纯试剂、电子特气等。

  原子力显微镜、反向散射探测器、金相显微镜、偏光显微镜、荧光显微镜、电子显微镜、质谱仪、拉曼显微镜、生物显微镜、透射电子显微镜、成像多光子显微镜、飞纳台式扫描电镜、扫描电化学显微镜、材料表征、智能荧光显微成像仪、电镜检测、蓝光三维扫描仪等。

  2026年中国MEMS制造大会将与核心展区深度联动举办，进一步拉近技术交流、产品展示与产业对接之间的距离，打造“会议+展示+交流”融合的现场生态。展区预计将吸引2万+来自MEMS产业链上下游的专业观众，一同探讨行业趋势、寻找合作机会、拓展商业网络。

  参展企业和观展嘉宾可共同集中探索MEMS制造全产业链的最新成果与技术进展，与潜在客户、合作伙伴进行面对面交流，更高效地对接上下游需求，拓展产业合作空间。观众也能更直观地了解MEMS领域前沿技术、先进工艺与创新应用方向，在交流互动中获取行业最新动态与合作机会。